ロータリ・スライディング・ベーン・ポンプ

ロータリーベーンポンプは大きく油封ポンプとドライポンプに分けられます。必要な真空度に応じて、単段ポンプと二段ポンプに分けることもできます。ロータリーベーンポンプ主にポンプローター、ターンテーブル、エンドカバー、スプリングなどの部品で構成されています。キャビティ内にはロータがあり、ロータの外縁はキャビティの内面に接しており、バネ付きの 2 枚のスパイラル プレートがロータ スロットに偏心して取り付けられています。ローターは動作中、半径方向の溝に沿って前後にスライドし、常にポンプ ケーシングの内面と接触しています。ローターとともに回転し、真空ポンプチャンバーを多数の容積可変スペースに分割します。

ロータリーベーンポンプのマイクロモータのロータは、一定の偏心距離をもってポンプ本体に取り付けられており、ポンプ本体内面の固定面に近接している。モーターローターのスロットには3枚以上の回転翼が取り付けられています。モーターのローターが回転すると、回転ブレードが軸方向の溝に沿って往復運動し、常にポンプ本体のキャビティに接触します。この回転羽根はモーターのローターとともに回転し、機械式ポンプのキャビティをいくつかの可変容積に分割できます。実際にマイクロロータリーベーンポンプを運転する場合は、以下の点に注意してください。 1. 油量を確認し、ポンプ停止時に油面計管理センターに油を滴下することをお勧めします。排気バルブが低すぎるためオイルを密閉できず、真空が損なわれます。高すぎると、エアがオイルポンプを始動させます。運転中、オイルの量はある程度増加しますが、これは異常ではありません。洗浄用真空ポンプオイルの種類を選択し、オイル注入口より追加してください。給油後、オイルプラグをねじ込んでください。オイルは、塵が侵入してオイル入口を塞がないように慎重に検討する必要があります。2.使用温度が高すぎると、油の温度が上昇し、粘度が低下し、飽和蒸気圧が膨張し、到達真空ポンプがある程度低下します。到達真空ポンプは、熱電対によって測定される総ガス圧力です。例えば、自然吸気ヒートパイプの放熱性を高めたり、オイルポンプの特性を改善したりすることで、極真空ポンプを改善することができます。3. メカニカルポンプの到達真空度は液体水銀真空計を基準として確認してください。メーターが完全に事前ポンピングされている場合、ポンプ温度は安定し、ポンプポートとメーターはすぐに接続されます。作動後 30 分以内に真空ポンプの限界に達します。全圧計の測定値はオイルポンプ、真空計、圧力計の偏差に関係しており、場合によっては偏差がかなり大きい場合もありますので参考値としてご利用ください。4. ポンプは空気または完全真空で一度に始動できます。リレーがポンプポートに接続されている場合、リレーはポンプとは別に動作する必要があります。5. 空気湿度が高い場合、または抽出蒸気に凝縮性蒸気が多く含まれる場合は、抽出コンテナに接続した後、20 ～ 40 分間移動した後にバラストバルブを開閉する必要があります。ポンプを停止する前に、バラストバルブを開いて全負荷で 30 分間運転すると、ポンプの耐用年数を延ばすことができます。